장비 상세보기

장비기본정보

기관명
한림대학교 나노융합스쿨
장비명
박막두께 측정장치 (Scanning 3D Surface Profilometer)
모델명
nanomap 500LS
제작사(국가)
삼한박막진공(대한민국)
제작년도
2015
용도
분석
분류
광학
취득일
2015.02.25
장비설명
-기존 접촉 프로파일 측정기와 주사형 프로브 현미경(SPM) 기술의 완벽한 통합
-소규모 3D mapping 및 longrange profiling에 최적화된 듀얼 모드 작동
-piezo 구동 팁 스캔 모드는 10um x 10um에서 최대 500um x 500um의 3D 스캔 범위를 제공하는 반면 고급 광학 기준 평면은 최대 50mm의 longrange profiling을 가능하게 한다.
장비구성

성능
Tip Scan(Piezo Scanner):

Z scan repeatability 0.8nm
Z scan resolution 0.1nm
Z scan fine range 5um
Z scan coarse range 500um
XY scan resolution 0.1um
XY scan position repeatability 0.2um
XY scan speed 10 to 50um/sec
XY scan range 500um x 500um
Data point per scan 100 to 1000points

Glass Stage Scan:

XY sample area 100mm x 100mm
XY stage movement range 100mm x 100mm
XY stage position repeatability 5um
XY scan range 50mm x 50mm
XY scan speed 0.1 to 5mm/sec
Z stage movement range 55mm
Z scan fine range 5um
Z scan coarse range 500um
Maximum sample height 50mm
Manual rotation stage range 360degrees
Manual tilt stage range +/-7degrees-System power requirement : 90-240V AC, 350W
NTIS NO
E-Tube NO

장비이용안내

사용방법
사용료유형
이용료
설치형태
설치장소
장비상태
담당자
연락처
팩스
사용방법
 

주소: (24062) 강원특별자치도 철원군 서면 금강로 7194 (재)철원플라즈마산업기술연구원 TEL/033-452-9881~2 FAX/033-452-9883
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